Los hornos de atmósfera inerte, también llamados hornos anaeróbicos, están diseñados para el tratamiento térmico utilizando gases no oxidantes como el nitrógeno en un ambiente sellado, son adecuados para el tratamiento térmico en una atmósfera con baja concentración de oxígeno.
Descripción
La serie de hornos de atmósfera inerte se utiliza en la fabricación de semiconductores para el horneado previo al tratamiento de obleas de silicio, arseniuro de galio, niobato de litio, vidrio antes del recubrimiento PR, horneado de película dura después del recubrimiento PR y horneado a alta temperatura después del revelado; También es adecuado para departamentos de producción e investigación científica, como pantallas electrónicas de cristal líquido, LCD, CMOS, IS y laboratorios; también se puede utilizar para secado, procesamiento térmico, envejecimiento y otras pruebas de alta temperatura de artículos no volátiles, no inflamables y no explosivos.
Parámetros principales
►Parámetros técnicos
Capacidad: Personalizado según productos
Rango de temperatura: Ambiente+50°C ~ 250°C
Contenido de oxígeno: ≤50 ppm
Uniformidad de temperatura: ±2,5%
Tasa de aceleración: controlable
Entrada de nitrógeno: Φ8
Flujo de nitrógeno: 0-240L/min * 2 canales
►Estructura
. Horno interior: Fabricado en acero inoxidable y soldado sin soldadura con gas argón.
. Sellado herméticamente: La cámara está sellada para reducir los niveles de oxígeno.
. Estructura de entrada de aire: Permite que los gases no oxidantes llenen la cámara.
. Analizador de O2: ajuste con precisión los niveles de oxígeno entre 0,5 ~ 21%
► Sistema de control de temperatura
Controlador de temperatura inteligente JAPAN RKC, configuración de programas y valores fijos, ajuste automático AT, corrección de compensación y retención de apagado.
► Convección de aire forzado
El conducto de aire patentado en el sistema de circulación de aire caliente puede ajustar automáticamente la uniformidad de la temperatura.
Características de los hornos anaeróbicos (inertes)
► Estudio de acero inoxidable herméticamente sellado para evitar el ingreso de atmósfera externa
► Utilice nitrógeno como gas inerte para el tratamiento térmico anaeróbico.
► El medidor de flujo y el manómetro están equipados
► Dispositivos de seguridad multiprotección
Opciones
► PLC+controlador programable de 7”
► Alarma de luz intermitente de tres colores
► Limitador de sobretemperatura
► Dispositivos de seguridad manuales
¿Por qué elegir hornos de atmósfera inerte?
Hoy en día, los materiales de cableado en los circuitos han pasado del aluminio al cobre con menor resistividad. Por lo tanto, cuando se tratan térmicamente en un horno de secado normal, las piezas de cobre pueden oxidarse y provocar defectos. Además, también se realiza un envejecimiento a 250 grados C para comprobar si los datos escritos en la memoria flash se han eliminado debido a la electromigración y si las partes de las protuberancias están oxidadas, por lo que el contenido de oxígeno debe reducirse a <100 ppm. Este horno anaeróbico fue desarrollado para satisfacer estas demandas.
Solicitud
Los hornos de atmósfera inerte se utilizan principalmente para el curado de pegamento BPO/pegamento PI/pegamento BCB, IC (oblea, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, componentes electrónicos de alta precisión y otros materiales en un entorno con bajo contenido de oxígeno para pruebas de secado y envejecimiento. .
